Please use this identifier to cite or link to this item: http://cmuir.cmu.ac.th/jspui/handle/6653943832/64679
Title: การประยุกต์ใช้โปรแกรมจำลองสถานการณ์ ในกระบวนการกัด เพื่อหาพารามิเตอร์ที่เหมาะสมที่สุด สำหรับการผลิตหัวอ่าน-เขียนฮาร์ดดิสก์
Other Titles: Application of Simulation in Etching Process Parameter Optimization for HDD Slider Fabrication
Authors: อลงกต ลิ้มเจริญ
ชูพงษ์ ภาคภูมิ
คมกฤต เล็กสกุล
Issue Date: 2553
Publisher: มหาวิทยาลัยเชียงใหม่ วารสารวิศวกรรมศาสตร์
Abstract: ในกระบวนการกัดชิ้นงานของการผลิตหัวอ่าน-เขียนฮาร์ดดิสก์ เป็นกระบวนการผลิตที่จะต้องใช้เทคโนโลยีขั้นสูง เป็นการกัดโดยใช้หลักการการแตกตัวของไอออน นอกจากนั้นแล้วในส่วนของต้นทุนของวัสดุที่ใช้ในการผลิตยังมีราคาสูง มากเช่นกัน ทั้งนี้ในการผลิตหัวอ่านฮาร์ดดิสก์นั้น มีปัจจัยมากมายที่ส่งผลต่อคุณภาพของชิ้นงาน ซึ่งทางบริษัทเองยังไม่มี ข้อกำหนดหรือองค์ความรู้ในการปรับสภาพที่เหมาะสมของกระบวนการ ปัจจุบันหากแต่ใช้การทดลองสุ่มปฏิบัติและใช้ ประสบการณ์รวมถึงคำแนะนำจากผู้ผลิตเครื่อง เพื่อให้ได้หัวอ่านฮาร์ดดิสก์ตามที่ลูกค้ากำหนด ปัญหาดังกล่าวมีความสำคัญโดยตรงกับคุณภาพของผลิตภัณฑ์หัวอ่านฮาร์ดดิสก์ ดังนั้นผู้วิจัยจึงได้ตระหนักถึง ปัญหาและนำเสนอแนวทางการแก้ปัญหา โดยเริ่มจากการออกแบบการทดลอง (DOE) เพื่อทำการทดลองโดยใช้โปรแกรม การจำลองสถานการณ์การผลิตหัวอ่านฮาร์ดดิสก์ สร้างแบบจำลองทางคณิตศาสตร์แบบการถดถอยแบบหลายตัวแปร ที่ใช้ สำหรับการพยากรณ์ผลตอบ และทำการหาค่าที่เหมาะสมที่สุดของแต่ละพารามิเตอร์ เมื่อได้สภาวะที่เหมาะสมของ กระบวนการทำการผลิตหัวอ่านฮาร์ดดิสก์ตามสภาวะที่เหมาะสมที่สุดแล้ว จึงนำสภาวะที่เหมาะสมที่สุดมาทดลองใช้กับ วิธีการผลิต ซึ่งแนวทางการแก้ปัญหานี้จะสามารถช่วยลดระยะเวลาการผลิต เพิ่มประสิทธิภาพในการผลิต และเพิ่มคุณภาพ ของผลิตภัณฑ์หัวอ่าน-เขียนฮาร์ดดิสก์ โดยเงื่อนไขที่ดีที่สุดของการกัดด้วยเครื่อง RIE ที่ทำให้มีค่ามุมเท่ากับ 60 องศา และค่าความลึกเท่ากับ 2.5 ไมโครเมตร คือ Pressure = 3.6 mTorr, Coil Power = 326 Watt และ Platen Power = 267 Watt ซึ่งจากเงื่อนไข ดังกล่าวค่ามุมจะเท่ากับ 60.08 องศา และความลึกจะเท่ากับ 2.36 ไมโครเมตร ซึ่งผลที่ได้จากการทดลองด้วยเครื่อง RIE นั้น วัดค่ามุมได้ 60.83 องศา และความลึกได้ 2.32 ไมโครเมตร ส่วนผลที่ได้จากการทดลองด้วยโปรแกรมจำลองกระบวนการกัด วัดค่ามุมได้ 62.54 องศา และความลึกได้ 2.39 ไมโครเมตร
Description: วารสารวิศวกรรมศาสตร์ มหาวิทยาลัยเชียงใหม่ (Engineering Journal Chiang Mai University) เป็นวารสารที่ตีพิมพ์บทความวิชาการในลักษณะบทความวิจัย และบทความปริทัศน์ที่มีคุณภาพสูง ทางด้านวิศวกรรมศาสตร์ วิทยาศาสตร์ และเทคโนโลยี รวมถึงสาขาอื่นที่เกี่ยวข้อง โดยมีเนื้อหาที่เป็นองค์ความรู้พื้นฐานจนกระทั่งการนำไปใช้ประโยชน์ ทั้งในแง่ทฤษฎี การวางแผน การทดลอง การออกแบบ หรือการพัฒนาอุปกรณ์และการจำลองการทำงานของระบบ หรือกระบวนการต่างๆ เป็นต้น โดยเปิดรับบทความวิชาการทางสาขาวิศวกรรมศาสตร์ ตลอดทั้งปี
URI: http://researchs.eng.cmu.ac.th/UserFiles/File/Journal/17_2/2Alonggot.pdf
http://cmuir.cmu.ac.th/jspui/handle/6653943832/64679
ISSN: 0857-2178
Appears in Collections:CMUL: Journal Articles

Files in This Item:
There are no files associated with this item.


Items in CMUIR are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.