Please use this identifier to cite or link to this item:
Title: Implanted and activated carbon distribution profiles in silicon: ion beam synthesis of silicon carbide = รูปแบบการกระจายของสารเจือคาร์บอนที่ถูกฝังและถูกกระตุ้นในซิลิกอน: การสังเคราะห์ซิลิกอนคาร์ไบด์ด้วยวิธีไอออนบีม / Saweat Intarasiri
Authors: Saweat Intarasiri
Keywords: Silicon
Silicon carbide
Silicon carbide -- Testing
Issue Date: 2007
Publisher: Chiang Mai : Graduate School, Chiang Mai University, 2007
Gov't Doc #: Th 546.683 S271I
Appears in Collections:SCIENCE: Theses

Items in CMUIR are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.