การพัฒนาระบบเคลือบฝังไอออนในพลาสมาที่ใช้เครื่องกำเนิดไอออนโลหะชนิดอาร์กในสุญญากาศ / ปรีชา ตุ้มโท

Please use this identifier to cite or link to this item: http://cmuir.cmu.ac.th/jspui/handle/6653943832/33450

Title:	การพัฒนาระบบเคลือบฝังไอออนในพลาสมาที่ใช้เครื่องกำเนิดไอออนโลหะชนิดอาร์กในสุญญากาศ / ปรีชา ตุ้มโท
Authors:	ปรีชา ตุ้มโท
Authors:	ปรีชา ตุ้มโท
Keywords:	ไอออนอิมพลานเตชั่น;พลาสมา;เครื่องกำเนิดไอออนโลหะ
Issue Date:	2545
Publisher:	เชียงใหม่ : บัณฑิตวิทยาลัย มหาวิทยาลัยเชียงใหม่, 2545
Gov't Doc #:	ว 530.416 ป173ก
URI:	http://search.lib.cmu.ac.th/search/?searchtype=.&searcharg=b1304091 http://cmuir.cmu.ac.th/handle/6653943832/33450
Appears in Collections:	SCIENCE: Theses

Files in This Item:

File	Size	Format
aphys0545pt_tpg.pdf	62.93 kB	Adobe PDF	View/Open Request a copy
aphys0545pt_abs.pdf	101.63 kB	Adobe PDF	View/Open
aphys0545pt_con.pdf	200 kB	Adobe PDF	View/Open Request a copy
aphys0545pt_ch1.pdf	138.51 kB	Adobe PDF	View/Open Request a copy
aphys0545pt_ch2.pdf	807.22 kB	Adobe PDF	View/Open Request a copy
aphys0545pt_ch3.pdf	916.55 kB	Adobe PDF	View/Open Request a copy
aphys0545pt_ch4.pdf	1.28 MB	Adobe PDF	View/Open Request a copy
aphys0545pt_ch5.pdf	72.05 kB	Adobe PDF	View/Open Request a copy
aphys0545pt_bib.pdf	69 kB	Adobe PDF	View/Open Request a copy
aphys0545pt_app.pdf	353.82 kB	Adobe PDF	View/Open Request a copy